现代工业产品生产和现代化科学实验活动要求微型化、精密化、高纯度、高质量和高可靠性，国内外的洁净工程的发展都是随着科学工程的发展、工业产品的日新月异，特别是军事工业、航天、电子和生物医药等工业的发展而不断发展。

    高纯度的产品，如生产集成电路所需单晶硅材料，生产光纤所需四叙化硅、四氯化错材料等已由过去的所谓高纯进入“电子纯”“超纯”，只有达到如此高的纯度才能达到现代集成电路、电子元器件、光纤产品所需的工程特性。要生产如此高纯度的产品，就必须达到相应的受控生产环境的空气洁净度等级和具有相应高纯度的与产品直接接触的超纯水、超纯气体、超纯试剂等。基于这种趋势，洁净工程的发展已成为现代工业生产和科学实验活动不可缺少的重要标志之一。

    20世纪60年代的洁净工程在美国、欧洲等发达国家顺应各行各业产品生产和科学实验活动的需要得到了广泛应用，可以认为是洁净工程的大发展时期。我国的洁净工程开始于20世纪60年代初，在70年代电子工业洁净室特别是半导体集成电路用洁净室的设计、建造发展很快，相继建成一批洁净厂房，并研制成功100级单向流洁净室。

    与此同时，洁净工程的洁净厂房用设备和材料，如高效过滤器，洁净工作台、层流罩、洁净烘箱、空气吹渊室、净化型传递窗等相继研制成功，并投入生产，虽然制造质量和某些工程指标与国际水平尚有差距，但已能满足国内部分需求。